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文档标题：
SL\U ST XY VCA光刻
发布时间：
2022-06-09 23:27:37
文档简介：
塔普·布雷克先生仔细检查了你的设计。我想向您介绍我对如何执行扫描的看法。如果光束通过线性驱动沿两个轴移动会怎么样？每个轴一个。我注意到设计中有两个镜子，需要它们来移动和旋转光束。为什么不使用它们？完全扔掉旋转的镜子
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