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文档标题：
用于MOCVD设备的简易气体管路
发布时间：
2026-01-12 22:37:59
文档简介：
该组件用于向MOCVD设备的反应器输送C3H8和SiH4。物料清单：质量流量控制器F-201CM-200-DAD-88-K（Bronkhorst），歧管VP 314 NO NF FFF（FlowLink），止回阀SS-CHVCR-4（Swagelok）
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