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用于MOCVD设备的简易气体管路
该组件用于向MOCVD设备的反应器输送C3H8和SiH4。物料清单：质量流量控制器F-201CM-200-DAD-88-K（Bronkhorst），歧管VP 314 NO NF FFF（FlowLink），止回阀SS-CHVCR-4（Swagelok）
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- 系统要求： SOLIDWORKS,Rendering
- 软件分类：
该组件用于向MOCVD设备的反应器输送C3H8和SiH4。物料清单：质量流量控制器F-201CM-200-DAD-88-K（Bronkhorst），歧管VP 314 NO NF FFF（FlowLink），止回阀SS-CHVCR-4（Swagelok）
