该组件用于向MOCVD设备的反应器输送C3H8和SiH4。物料清单:质量流量控制器F-201CM-200-DAD-88-K(Bronkhorst),歧管VP 314 NO NF FFF(FlowLink),止回阀SS-CHVCR-4(Swagelok)
- 模型大小 :未知
- 消 耗 :5莫西点
- 下载次数 :
- 包含文件 :SOLIDWORKS,Rendering



该组件用于向MOCVD设备的反应器输送C3H8和SiH4。物料清单:质量流量控制器F-201CM-200-DAD-88-K(Bronkhorst),歧管VP 314 NO NF FFF(FlowLink),止回阀SS-CHVCR-4(Swagelok)