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文档标题:  气枪(Swagelok 和 Mks Instruments)
发布时间:  2026-01-12 22:57:28
文档简介:  气体棒用于向半导体设备(PVD、PECVD、ICP-RIE、PEALD)的真空反应器输送超高纯度工艺气体和吹扫气体。物料清单:阀门 6LVV-DPMR4-P(世伟洛克)-1,压力调节器 SS-HFM3B-VCR4-P-C(世伟洛克)-1,压力表 PGU 50-MC02-C-4FSM(世伟洛克)-1,过滤器 SS-SCF3-

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