气枪（Swagelok 和 Mks Instruments）

气体棒用于向半导体设备（PVD、PECVD、ICP-RIE、PEALD）的真空反应器输送超高纯度工艺气体和吹扫气体。物料清单：阀门 6LVV-DPMR4-P（世伟洛克）-1，压力调节器 SS-HFM3B-VCR4-P-C（世伟洛克）-1，压力表 PGU 50-MC02-C-4FSM（世伟洛克）-1，过滤器 SS-SCF3-VR4-P-30（世伟洛克）-1，阀门 6LVV-DPFR4-P-C（世伟洛克）-2，MFC 4 VCR 公头 1179C01311CR1BV（Mks Instruments）-1