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文档标题：
梳状驱动器（MEMS执行器）
发布时间：
2026-01-12 23:22:22
文档简介：
MEMS静电梳状驱动执行器项目概述 本项目包含一个MEMS梳状驱动执行器的有限元模型（FEM），该模型经过设计和仿真，旨在演示静电驱动原理。该模型是艾因沙姆斯大学工程学院MCT 343：机电一体化应用课程的一部分。技术细节 该设计侧重于精确的几何形状，以定义M
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