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文档标题：
晶圆检验
发布时间：
2022-06-28 23:29:18
文档简介：
功能：+晶圆4英寸，6英寸+设置2个检查位置+设置4个载体位置+机器人可以移动旋转和上下移动，机器人非常平滑问候
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