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文档标题：
晶圆自动检测
发布时间：
2024-02-04 14:04:46
文档简介：
自动晶圆检测：+晶圆4英寸、6英寸+设置2检测位置+设置4载具位置+机器人可以旋转和上下移动，机器人非常流畅
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