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简易桌面级光刻通用作业执行模块

项目分类:通讯工具类 发布时间:2022-06-09 ID:656660
  • 简易桌面级光刻通用作业执行模块
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  这套光刻通用模块的设计初衷,是填补小批量印刷电路板制作、微结构曝光作业场景下,低成本简易作业设备的空白,很多小微研发团队、电子爱好者在做小尺寸PCB打样、微流控芯片原型曝光时,不需要工业级光刻机的超高精度与产能,反而对设备成本、搭建难度、调整灵活性有更高要求,这套结构就是围绕这类需求做的适配设计。

  从结构组成来看,模块核心集成了镜头装夹、俯仰微调、安装固定三个功能单元。顶部的星型散热结构直接适配常规CCD相机镜头的安装接口,这类镜头采购成本低,光学分辨率足以覆盖0.1毫米级的线路曝光需求,散热鳍片的排布角度经过计算,既可以给长时间工作的曝光光源预留散热风道,也不会遮挡镜头的通光路径,鳍片厚度1.2毫米,相邻鳍片间隙3毫米,自然对流状态下就能满足低功率曝光光源的散热要求,不需要额外加装散热风扇,避免风扇振动影响曝光精度。

  两侧的绿色安装支架是整套模块的承载基准,支架采用6毫米厚度的板材加工,上面预留的四个安装孔位做了沉头设计,既可以通过螺栓直接固定在带坐标刻度的工作台面上,也能搭配型材连接件做高度方向的拓展调整,支架与中间滑动座的配合面做了0.02毫米的公差控制,保证滑动过程中不会出现横向窜动。中间的俯仰调整结构采用细牙螺纹传动,螺纹导程0.1毫米,转动调整环的时候,镜头装夹座可以绕铰接轴做小角度俯仰摆动,调整分辨率刚好匹配0.01毫米的焦点微调需求,调整到位后靠螺纹的自锁特性就能固定位置,不需要额外加装锁紧机构,简化了操作步骤。

  侧面的柔性排线固定支架采用薄钢片弯折成型,既可以给镜头的控制线、曝光光源的供电线做走线约束,避免线材晃动干扰光路,也不会因为刚性磕碰损坏线材外皮,支架的弯折弧度做了圆角处理,不会割伤线材绝缘层。底部的螺纹连接段可以直接适配常规的相机三脚架接口,也能搭配定制的连接座固定在3D打印机的运动轴上,借助3D打印机原有X/Y/Z轴的运动能力,就能实现大尺寸板面的逐区域扫描曝光,不需要额外搭建运动平台,大幅降低了整套曝光装置的搭建成本。

  在实际使用场景中,这套模块可以直接装在带坐标定位的工作台面上,配合紫外光源、光刻胶涂覆的基板就能完成曝光作业,调整的时候只需要转动中间的调整环,就能改变镜头的俯仰角度,配合Z轴方向的高度调整,就能快速找到最佳焦点位置,对于0.1毫米线宽的PCB线路来说,这套调整机构的精度完全满足曝光要求,逐行扫描曝光的时候,只要运动平台的走位精度达标,就能完成整板的曝光作业,不需要复杂的光路校准步骤。

  安装边界方面,整套模块不含外接支架的最大外轮廓尺寸为120毫米×80毫米×160毫米,安装时需要在固定平面预留至少150毫米×100毫米的安装空间,镜头下方到基板的工作距离根据选用的CCD镜头焦距不同,可在30毫米到120毫米之间调整,调整过程中支架不会与工作台面、运动轴产生干涉。整套结构的零件大多可以采用3D打印、常规板材切割加工制作,加工难度低,不需要高精度的机加工设备就能完成原型制作,组装完成后只需要做简单的同轴度校准就能投入使用,对于需要快速搭建简易光刻作业装置的使用者来说,不需要从零开始设计光路调整、镜头装夹的结构,直接在这套模块的基础上适配自己的光源、运动平台就能快速完成设备搭建。

  结构设计上特意做了容错设计,镜头装夹位的内径预留了0.5毫米的调整间隙,就算是3D打印的零件存在一定的尺寸误差,也能通过调整固定螺栓的松紧度完成镜头的同轴度校准,不会因为零件加工误差导致整个结构无法使用。中间的传动螺纹采用标准公制细牙螺纹,就算是加工的螺纹存在小范围的公差,也能实现平稳的微调动作,不会出现卡滞、空程过大的问题。

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