化学气相沉积反应室（仍在进行中）

化学气相沉积 (CVD) 是一种在真空下将前体气体薄膜沉积在基材上的工艺。我目前正在设计CVD反应室，它是它的主要组成部分，这里最后添加的部分将是螺线管加热或晶圆加热的设置。