真空泵采用特殊的螺旋式单段压缩设计,可将吸入的粉尘及颗粒排出真空泵,同时具有低转速、低噪音、低振动值及无需长期保养的特性,尤其具有防蚀功能,适合半导体及lcd(液晶显示屏)等领域的操作。
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