一个由整块钛合金加工而成的XY工作台——实际上,“全柔性”工作台由两个相同的方形“柔性”部件组装而成,线性电机(音圈)可以分别驱动两个轴。中心部件由可变形的平行四边形在“铰链”处弯曲,从而实现无摩擦导向。
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一个由整块钛合金加工而成的XY工作台——实际上,“全柔性”工作台由两个相同的方形“柔性”部件组装而成,线性电机(音圈)可以分别驱动两个轴。中心部件由可变形的平行四边形在“铰链”处弯曲,从而实现无摩擦导向。