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硅微电子机械系统器件
这些连接到PCB上的硅晶体MEMS设备是我在生物声学和MEMS领域研究的一部分，如以下链接免费提供的期刊论文所述http://ieeexplore.ieee.org/stamp/stamp.jsp?arnumber=6808617
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这些连接到PCB上的硅晶体MEMS设备是我在生物声学和MEMS领域研究的一部分，如以下链接免费提供的期刊论文所述http://ieeexplore.ieee.org/stamp/stamp.jsp?arnumber=6808617
