24*36英寸晶圆厂机架支撑套件

这套支撑结构件主要面向半导体晶圆生产厂区的模块安装场景，在晶圆厂的洁净生产区域内，各类工艺处理模块、检测模块需要稳定的架空支撑结构，既要保证模块安装后的水平精度，也要预留出底部走线、管路排布的操作空间，同时还要适配洁净车间内的安装规范，避免出现积尘死角、结构锐角等不符合洁净要求的设计。从结构设计来看，整套支撑件采用矩形管材拼接成框架主体，四个延伸支腿端部都配置了带安装孔的连接法兰板，法兰板上的孔位采用对称排布设计，既可以和上方晶圆模块底部的预装螺孔直接对位锁紧，也能在地面固定时适配不同的膨胀螺栓安装间距，降低现场安装的对位难度。框架的整体外轮廓尺寸匹配24*36英寸的安装边界，支腿的伸出长度经过核算，能够保证模块安装后底部预留足够的维护空间，方便运维人员后期对模块底部的气路接头、线缆接口进行检修操作，不需要整体抬升模块就能完成常规维护作业。设计过程中特意将框架的拼接位置设置在受力均衡的节点处，所有焊接位置都做了打磨钝化处理，既避免尖锐边角划伤施工人员，也符合洁净车间内的表面处理要求，不会因为结构毛刺积累浮尘影响车间洁净度。框架的横向与纵向杆件采用等截面矩形管，受力时能够均匀分散上方模块的重量，避免局部应力集中导致的结构变形，即使长期承载模块的静态重量，也能保证整体框架的平面度维持在安装要求的公差范围内，不会因为结构形变导致上方晶圆模块出现倾斜，影响工艺处理的精度。端部的法兰连接面都做了铣平处理，保证和模块底面、地面安装面的贴合度，锁紧后不会出现虚位，设备运行过程中产生的微幅振动也能通过框架结构均匀传导，不会出现局部共振的问题。整套结构没有多余的装饰性设计，所有构件都服务于支撑、安装、维护的实际需求，杆件之间的连接位置避开了后期维护的操作路径，不会出现结构件遮挡接口、影响工具操作的问题，现场安装时只需要按照法兰孔位对位锁紧即可，不需要额外做现场裁切、打孔的二次加工，能够大幅缩短现场施工的周期，适配晶圆厂建设过程中模块化快速安装的施工节奏。