带有电容式测量单元和陶瓷工艺隔离膜片(Ceraphire?)的表压和绝对压力。陶瓷传感器是一种干式传感器,即过程压力直接作用于坚固的陶瓷过程隔离膜片并使其偏转。在陶瓷基板和工艺隔离膜片的电极上测量电容的压力相关变化。测量范围由陶瓷工艺隔离膜片的厚度决定
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