该图表示模块化洁净室结构,包括:两个独立的房间(洁净室 1 和洁净室 2)使用 PUF/模块化墙板建造设计符合 ISO 8 级洁净室标准外部检修门和集成空气系统PUF 面板仅等轴测视图
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