CO _ NOx 传感器

此 CO _ NOx 传感器可以放置在汽车过滤器下游，以防止晕车。直径 7 毫米，高度为 20 毫米。碳过滤器可防止敏感部分过早磨损（潮湿、灰尘） 并确保气体颗粒分离以获得更好的选择性。对于 6 毫米直径，敏感部分（即电线）高约 800 微米。 详细查看方案。---------------------------------------------------- -------------------------------------------------- -------------------------------------------------- ---从下到上：-（黑色）单晶硅晶圆（500μm）-（绿色）氮氧化磷介电膜（3μm）-（红色）磷掺杂热体多晶硅（100 nm高，300μm直径）-（紫色 ) 隔离涂层氧化硅 （高可忽略不计）-（蓝色）铂、铬和钛合金电路（高可忽略不计）-（绿色）钝化涂层（氧化物保护）-（红色方块）氧化锡 (SnO2) 敏感层（100 nm 高，300 μm） 长）感热层被热体加热到400-600℃左右，合金化氧化还原（SnO2 + CO = SnO + CO2）会改变敏感层中可测量的电导率。每个传感器都需要校准测试。