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传感器数据逻辑参考：S100-PR-5-FG0-PK
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![晶圆6\“[150mm]](https://static.3dmox.com/uploads/187/2021/2021121505013123181.png)
![晶圆8\“[200mm]](https://static.3dmox.com/uploads/187/2021/2021121505012523178.png)
